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室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ 大行程载物台 — 精密光学，半导体表征
• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm
• 最⼩步伐尺⼨约20 nm
• 最⾼速度 20 mm/s
• 闭环传感，空间分辨率 100 nm / 10 nm
• 全⾏程运动中，保证通孔 85 mm × 65 mm
• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )
• 主体铝合⾦(硬质氧化发⿊)
2D ·尺⼨图
Carrier.L7550.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
可选版本 ⇨ | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV |
.NM 绝对⽆磁版本； .HV， ⾼真空版本 ; .UHV ，超⾼真空版本； | ||||
1 运动⽅向 | X Y | |||
2 外形尺⼨ | 250 mm × 200 mm × 30 mm | |||
3 必须安装空间 | 325 mm × 250 mm | |||
4 有效穿孔 | 85 mm × 65 mm | |||
5 主体材料 | 铝合⾦ | |||
6 线缆 & 接头 | 标准屏蔽线缆 DSub9 接头 | kapton漆包线， PEEK-2mm插针 | ||
7 ⼯作温度 | 10 – 40 °C | |||
运动参数-空间推荐安装形式 I. (下列性质均在推荐安装形式下测得) | ||||
8 运动⾏程 | 75 mm × 50 mm | |||
9 最⼤速度 | ~ 20 mm/s | |||
10 最⼩步伐 | ~ 30 nm | |||
11 驱动频率 | Max. 20 kHz (超安静运动) | |||
12 最⼤负载 | 2 kg | |||
13 全⾏程俯仰/偏摆 | 0.8 mrad | |||
传感精度 | ||||
14 位置传感类型 | - 电阻型传感( .R ) - 光栅尺传感( .O ) | |||
75 mm × 50 mm | ||||
15 位置传感量程 | ||||
- 电阻型传感( .R )， 100-200 nm - 光栅尺传感( .O )， 10 nm， 1nm可选(默认 10nm) | ||||
16 位置传感分辨率 | ||||
