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大范围压电扫描台Carrier.S200.XY

  • 产品型号：
  • 产品时间：2024-05-21
  • 简要描述：室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征
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  • 产品介绍

室温 ·压电运动⽅案 —“Carrier. 系列“ ⼤⾏程扫描载物台 — 精密光学，半导体表征


⼤范围压电扫描台Carrier.S200.XY产品特⾊

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um；

• 闭环定位精度优于 1nm；

• 最⼤负载 500 g；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案；

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)选件升级


Carrier.S200.XY ⼤范围压电扫描台 — 技术参数
 

可选版本 ⇨

正常版本

.NM     绝对⽆磁版本；

.HV，     ⾼真空版本 ;

.UHV ，超⾼真空版本；

1           底⾯尺⼨*⾼度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主体材料

铝合⾦

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           运动⾏程

200 um × 200 um

5            闭环分辨率

优于1nm

6           推荐最⼤负载

500 g

7            闭环传感器

电容式

8            电容精度

0.3 nm

9           压电电容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 摄⽒度

10          推荐使⽤温度

11          质量

1 kg

12          安装

螺纹孔⾃动兼容 Carrier.L7550.XY

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