工作环境

<1×10-3Pa

光学真空外罩

可定制

顶部快拆

紧凑/非紧凑

防热屏蔽层

安装温度计的防辐射屏

光学窗口

光窗数量

标准4个

顶部扩展1个

光窗材质

石英

光窗直径

25mm

样品形式

薄膜或粉末

样品环境

真空

普通镀金样品台

光学样品台

完*定制（1个）

电学样品台

完*定制（1个）

普通电学样品卡

电学样品卡

完*定制（5个）

阀门

抽口阀门

1个

安全阀门

1个

破空阀门

1个

6针电学真空接头

用于连接控温仪

3个可选电学接口

1-19芯

可选配置

电学接口

SMA

BNC

TRB

顶部扩展窗口

垂直光窗

其他材质窗口

氟化钙

蓝宝石

硒化锌

低漏电接口

100fA

制冷量（50Hz）

一级

二级

50W@43K

1.3W@4.2K

降温时间（二级）

<60min（4.2K）

重量

冷头

压缩机

20kg

118kg

对接压缩机

KDC6000V

功耗50Hz

稳态

降温

6.5kW

7.2kW

冷却方式

水冷

水冷却流量

7~10L/min

标准软管

20A×20m

维护周期

10000h

氦压缩机

电源要求

380,400V@50Hz 3P 480V@60Hz 3P

氦气纯度

＞99.999%

冷却方式

水冷

水流量

7L~10L/min（25℃）

冷却水温度

进口

出口

5~25℃

<44℃

功耗50Hz

稳态

降温

6.5kW

7.2kW

压力范围（运行）

排气

回气

16.6~23bar

2.8~6.9bar

环境温度要求

运行

储存

4~40℃

-20~65℃

相对湿度

运行

储存

30%-70%

10%-90%(不结露)

环境压力要求

运行

储存

70kPa~110kP

20kPa~110kPa

对接标准软管

20A×20m

维护周期

30000h

重量

118kg

温度计

测温范围

1.4K-500K

温控仪

温度输入数量

2，2通道独立输入

控温通道

1

温度下限

300mK

水冷机

Integrative

分体机

制冷量

8000W @25℃

控温方式

启停式

冷却方式

压缩机制冷

控温精度

±1℃

控温范围

5~35℃

额定流量(L/min@Bar)

25@3.5

最大压力

4.3bar

水箱容积

90L

制冷剂

R410A

外形尺寸(室内机)

430X635X940(宽x深x高)

外形尺寸(室外机)

865x310x710(宽x深x高)

蒸发器类型

不锈钢盘管

水槽材质

SUS304不锈钢水箱

接口尺寸

Rp1

电源要求

220V/380V，50Hz

电功率

4.3/3.3KW

分子泵

接口法兰

DN100 CF

抽气速率L/S(对空气)

110

压缩比

＞108（N2）

5×102（H2）

极限压强 (Pa)

6×10-7

建议启动压强（Pa）

＜100

输入电压频率(V/Hz)

220±20/50

前级泵型号

RV4（标配）

冷却方式

风冷、水冷

冷却水压力(MPa)

0.1-0.2

冷却水温度(℃）

≤25

冷却水流量（L/min）

>1

安装方式

垂直

环境温度 (℃)

5～40

长×宽×高（mm）

500×510×685

重量（kg）

52

低温制冷机冷头

氦压缩机

分体式冷水机：由室内机和室外机组成

分子泵

粉末样品台

薄膜样品台

电学测试卡示意图